클린룸 이란?

클린룸이란 공기 중의 부유 미입자가 한정된 청정도 이하로 관리되고, 또한 그 공간에서 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 요구되는 청정도가 유지되면, 필요에 따라서 온도,습도,압력 등의 환경조건 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다.
그 이외에 실내 기류 형상과 속도,유해가스,진동,실내 조도 등이 관리항목으로 요구되고 있다.

그리고 CLEAN ROOM은 반도체 산업뿐이 아니라 정밀산업,전자산업,의학품제조,식품제조산업,광학기계,병원,실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 요구된다.

본격적인 ICR(공업용클린룸)규격으로 1963년 미국연방규격 209B(Federal Standard 209B)가 제정되었다.
규격은 청정도 이외, 압력, 기류속도, 온도, 습도, 조도에 의해 대해서도 규정하고 있다.

FS209는 1988년의 209D, 1992년의 209E와 수회 변경되었다.

한편, 다른 나라에서는 FS209를 참고로 하여 독자의 규격을 사용하고 있다.
일본에서는 1㎥의 공기중에 포함되어있는 입자경이 0.1㎛이상의 입자수를 10의 자승으로 표시한 지수 (10N/㎥의 N)를 클라스 표시로 하고 있다. 그리고 1999년 청정도에 관한 국제규격인 ISO14644가 발표되어 세계적 규격의 통일에 한발 전진하게 되었다. 표1에 각각을 비교 했다.
BCR(생물용클린룸)규격은 NASA규격에 규정되어 있고, NHB 5340.1과 5340.2가 있다.

이들 규격의 내용은 FS209B와 거의 같지만, 미생물 농도를 더하고 있다. 표 2의는 이들 규격에서 생물입자에 관한 규정만을 추출한 것이다. 미생물은 큰 것은 단독으로 작은 것은 미입자에 부착하여 공기중에 부유하기 때문에 미입자를 제어 하는 것은 미생물을 제어하는 것이라 할 수 있다. 그외의 관 련 규격으로는 GMP(Good Manufacturing pracice)가 있고, 의약품제조공장에서 생산단계의 품질관리를 위한 기준을 정하고 있다.

부유미입자의 측정은 관산란식입자계수기(LPC등)또는 응축핵계수기(CPC)를 이용한다. 미생물 측정은 공중부유균,낙하균,표면부착균으로 나누고, 상황에 따른 측정법이 있지만 이들 모두가 소정의 배양법으로 발육시킨 균집 락(colony)수를 측정한다.

클린룸에 대한 규격 및 1Class란?

일반적으로 미국연방규격이 사용됩니다.

또한 균에 관해서는 미국항공우주국(NASA)규격을 사용합니다.

Class란 1입방ft(0.028m3)내에 공기체적내에 입경 0.5마이크로미터 이상의

입자가 몇 개 있느냐를 나타냅니다.

예를 들면 Class1000은 1ft3(0.028m3)의공간내에 0.5마이크로미터 이상의

입자가 1000개 이하인 것을 의미합니다.

**사람의 머리카락 두께는 약 100마이크로미터입니다.**